瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

簡要描述：瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）
25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導率。

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瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

任何條件下都能提供可靠的隔離25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導率。

為提供耐用性和較長的正常運行時間，25.2 高真空鋼瓶閥系列具有密封保護系統(tǒng)，兼具鋼瓶設計的高流導和更長的密封壽命等優(yōu)勢。該密封保護系統(tǒng)通過鋼瓶傾斜-轉動-傾斜的動作工作，在該動作中，鋼瓶會通過提起動作移除閥座上的閘封，以避免任何摩擦、密封磨損以及粒子的生成。在全開啟（90° 旋轉后）的情況下，傾斜-轉動-傾斜的動作還會將密封件輕柔地壓向閥體，防止密封件接觸氣流中可能存在的磨蝕粒子。斷電時，閥體機構將被鎖定在打開或關閉位置，維持閥體最后的位置。

25.2 高真空鋼瓶閥系列已經安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。

25.2 高真空鋼瓶閥為氣動型，帶有作為外部安裝配件的電磁閥。閥門位置通過 LED 燈（10-30?VDC，5-100?mA）指示。

法蘭連接器的標準選項為 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型"。標準閥板密封采用氟橡膠?？杉煽蛻舴ㄌm以及特殊功能，例如加熱筒、其他密封材料或不銹鋼類型。

瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

25.2 高真空鋼瓶閥的主要特點

適用于惡劣環(huán)境，設計可靠、成熟
傾斜-旋轉-傾斜機制，保護密封
最大流導

優(yōu)勢：

性能可靠
維護量少，可輕松維護
擁有成本較低
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

技術數(shù)據(jù)

尺寸(DN)

16 mm (?")
25 mm (1")
40 mm (1?’’)

驅動器

氣動，雙作用

機體材料

鋁

標準法蘭

ISO-KF
ISO-KF "爪子"

泄漏率

閥體

< 1 x 10-9 mbar ls-1

閥座

< 1 x 10-9 mbar ls-1

壓力范圍

1 × 10-8 mbar 至 3 bar (abs)

閘門上的壓差

在關閉的方向

≤ 1.2 bar

在打開的方向

≤ 3.0 bar

打開時的壓差

≤ 1.2 bar

循環(huán)直到第一次維修

100 000

溫度

閥體

≤ 120°C

驅動器

≤ 120°C

位置指示器

≤ 80 °C

材料

閥體

EN AW-6060 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)

閘門

EN AW-6082 (3.2315)

法蘭

EN AW-6082 (3.2315)

軸

AISI 316L (1.4435)

閘門

帶有Ni-PTFE涂層的A4-80

密封

閥蓋

FKM

閘門

FKM

饋通件

FKM

饋通件

旋轉式饋通件

安裝位置

任何

位置指示器：接觸等級

閥體

≤ 10 – 30 VDC

目前

5 – 100 mA

閘閥位置顯示器

LED

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25.2 高真空鋼瓶閥的主要特點

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